SIMCO-ION思美高設備優(yōu)點：靜電吸附是用于臨時吸附材料的一種特殊工藝，ECM系列靜電吸附系統(tǒng)可以根據(jù)客戶需要提供高達60KV靜電電壓用于各種場合。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用高頻開關技術提供三大優(yōu)勢。首先，能夠根據(jù)所設定的電壓實現(xiàn)穩(wěn)定的電壓輸出；其次，輸入電壓的波動將不會影響輸出電壓波動；*后，周邊環(huán)境的變化，負載的變化，特別是在*大臨界負載變化將不會影響輸出電壓的穩(wěn)定性。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用防電弧技術，很重要的優(yōu)點可以保證人身和設備使用**,并提高設備的穩(wěn)定性，延長使用壽命。對于靜電吸附系統(tǒng)，靜電產生電極通常被連接到高達幾萬伏的電壓，靜電產生電極周圍會發(fā)生電暈現(xiàn)象，空氣被電離，在電場的作用下，電荷移動至目標物體上。此時目標物體所帶有電荷的極性依賴于所產生高壓相對于地極的極性。

5225 型氣棒離子發(fā)生器是一種棒型離子發(fā)生器，專為半導體等超潔凈工藝設備的應用而設計。

長處

■單晶硅電極在全球擁有****的采用記錄，具有超低顆粒特性，避免
了電極材料造成的金屬污染風險 ■通過脈沖直流法
消除靜電的能力范圍廣 ■ 由全數(shù)字電路控制， 更穩(wěn)定的離子生成和長期離子平衡 ■ 通過在中和目標附近安裝5200-SR外部傳感器（可選），可以控制中和目標附近的離子平衡
，而不是離子發(fā)生器棒本身（如果未連接5200-SR， 離子發(fā)生器棒內置的傳感器自動調節(jié)離子平衡）
■ 根據(jù)半導體前端工藝的EFEM設置長度條 ■ 離子發(fā)生輸出、離子發(fā)生時間、報警閾值等 各種參數(shù)可在很寬的范圍內設置
。 靈活
支持長距離應用和氣流較弱的環(huán)境 ■ 只需以數(shù)字方式輸入?yún)?shù)即可獲得高再現(xiàn)性，可在短時間內
完成設置 ■ 除了簡單的報警IO， 使用免費提供的DLL可以進行實時監(jiān)控，有助于掌握過程設備的狀態(tài)。

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