膜片干式真空泵，DAU-20,日本愛發(fā)科的產(chǎn)品介紹：

●ダイアフラム型真空ポンプの到達(dá)圧力性能をさらに追求したものです。
●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。

 膜片干式真空泵的特長(zhǎng)：

●ダイアフラム型真空ポンプの到達(dá)圧力性能をさらに追求したものです。
●複數(shù)のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達(dá)圧力を?qū)g現(xiàn)しています。

 膜片干式真空泵的仕様：

●サーマルプロテクタ付
●到達(dá)圧力(KPa):0.2
●吸排気管徑(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●*大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)
●排気速度(L/min)50/60Hz:20/23
●到達(dá)圧力(Pa):200
●吸気口徑(mm):10
●電源(V):単相100
●寸法(mm):161×327×217
●騒音値(dB):-
●吸排気管徑(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●質(zhì)量(kg):7.5

用途：

●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
●ロードロック室排気。
●吸著搬送、ハンドリング。
●レーザーガス循環(huán)?排気用。
●真空乾燥裝置、凍結(jié)真空乾燥裝置。

使用條件：

●使用雰囲気溫度範(fàn)囲：5℃?40℃

注意事項(xiàng)：

●吸入気體に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場(chǎng)合はそれらを取り除く必要があります。

生産國：日本

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